2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷

英文名：2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane

别名：2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷

CAS No. : 1009-93-4

分子式：C6H21N3SI3

分子量：219.51

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中文名称：	2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷
英文名称:	2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane
产品分类：	化学气相沉积与原子层沉积前体
CAS号：	1009-93-4
分子式：	C6H21N3SI3
分子量：	219.51

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